石墨爐原子吸收是一個受激吸收躍遷的過程，當有輻射通過自由原子蒸氣，且入射輻射的頻率等于原子中外層電子由基態躍遷到較高能態所需能量的頻率時，原子就產生共振吸收，是根據物質產生的原子蒸氣對特定波長光的吸收作用來進行定量分析的。
1、光源。光源的功能是發射被測元素的特征共振輻射。對光源的基本要求是：發射的共振輻射的半寬度要明顯小于吸收線的半寬度；輻射強度大、背景低，低于特征共振輻射強度的1%；穩定性好，30分鐘之內漂移不超過1%；噪聲小于0.1%；使用壽命長于5安培小時。空心陰極放電燈是能滿足上述各項要求的理想的銳線光源，應用廣。
2、原子化器。其功能是提供能量，使試樣干燥，蒸發和原子化。在原子吸收光譜分析中，試樣中被測元素的原子化是整個分析過程的關鍵環節。原子化器主要有四種類型火焰原子化器、石墨爐原子化器、氫化物發生原子化器及冷蒸氣發生原子化器。
3、分光器。它由入射和出射狹縫、反射鏡和色散元件組成，其作用是將所需要的共振吸收線分離出來。分光器的關鍵部件是色散元件，商品儀器都是使用光柵。
石墨爐原子吸收部件檢查如何進行：
1、光譜儀部分：看燈的負高壓是否處于正常范圍（一般是450~650v），如果突然發現負高壓特高，估計你就要檢查光路了，看是否有異物擋住了光路，鏡片是否有起霧結冰。此時，就需要用擦鏡紙或者吹風機吹干，同時檢查環境溫濕度是否達標。
2、自動進樣器：首先，觀察自動進樣器管路是否出現異常，有時一個晚上或者是更久時間不用，溶液會在自動進樣器的毛細管中蒸發結晶，導致自動進樣器堵塞，或者是管路不流暢。此時，在清洗過程中，儀器毛細管出水滴的速度會很慢。或者是吸水也會有延遲現象。
