icp光譜分析儀由以下主要部分組成：
1、入射狹縫：在入射光的照射下形成光譜儀成像系統的物點。
2、準直元件：將狹縫發出的光變成平行光。準直元件可以是獨立的透鏡、反射鏡，也可以直接集成在色散元件上，如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。
3、色散元件：光柵通常用于將光信號在空間中按波長色散成多束。
4、聚焦元件：將分散的光束聚焦在焦平面上形成一系列入射狹縫的圖像，其中每個圖像點對應一個特定的波長。
5、探測器陣列：放置在焦平面上，測量各波長圖像點的光強。探測器陣列可以是CCD陣列或其他類型的光電探測器陣列。
icp光譜分析儀是光譜分析中非常快速靈敏的儀器，主要由三部分組成：一是激光光譜的光源；第二個是光譜儀系統，它將不同波長的光聚焦在儀器的特定位置。第三種是用放置在焦點上的探測器測量光的強度。大多數現代光譜儀使用微機處理實驗結果，它是一種將復雜光分解成譜線的科學儀器。密封在恒溫箱內，溫度穩定。它設計小巧，操作簡單，只有一個人可以攜帶和操作設備，具有進樣量少、適用范圍廣、速度快、靈敏度高、選擇性好等特點。那么它的霧化效果要怎么提高？
1、樣品測試時，霧化效果好壞取決于樣品的強度。為提高霧化效果，應適當增加氣體流量。如果霧化效果不好，可以考慮超聲波霧化器。
2、一些增感劑也可用于提高霧化效率：作用機理大致分為去離子劑、分散劑、保護劑、絡合劑等。
3、霧化效率是影響譜線強度的一個因素，載氣流速越大越好。
4、除霧化方式外，icp光譜儀霧化效率一般與樣品溶液的物理性質有關，因此可以采取一些相應的措施，如適當改變溶液的粘度和表面張力等。
