雖然icp光譜儀本身具有較高的測量精度，但在測量樣品中元素的含量時，結果通常與真實含量不一致，存在一定的誤差。而且由于很多因素的影響，有些物質的含量很低。那么怎么好好的光譜儀就有誤差了？這需要我們從這幾個方面來分析。
1、系統誤差的來源
（1）當標準樣品和樣品的含量和化學成分不全相同時，基體線和分析線的強度可能發生變化，從而引入誤差。
（2）當標準樣品和樣品的物理性質不全相同時，特征激發線會不同，產生系統誤差。
（3）當鑄鋼試樣與退火、淬火、回火、熱軋、鍛鋼試樣的金屬組織不同時，測得的數據會有所不同。
（4）未知元素譜線的重疊干擾。比如冶煉過程中加入脫氧劑和脫磷劑，混入未知合金元素，造成系統誤差。
（5）為了消除系統誤差，必須嚴格遵循標準樣品制備的要求。為了檢查系統誤差，需要用化學分析方法對校對結果進行分析。
2、偶然誤差的來源
與樣品成分不均勻相關的誤差。由于icp光譜儀光電光譜分析中消耗的樣品很少，樣品中元素的分布和結構不均勻，導致不同部位的分析結果不同，產生偶然誤差。主要原因如下:
（1）冶煉過程中帶入的夾雜物和偏析造成樣品元素分布不均勻。
（2）缺陷、氣孔、裂紋、砂眼等。
（3）交叉研磨紋、研磨樣品過熱、樣品研磨面靜置時間過長、指紋按壓等因素。
（4）為了減少偶然誤差，必須仔細取樣，消除樣品的不均勻性和鑄造缺陷，或多次重復分析，以減少分析誤差。
3、其他因素的誤差
（1）氬氣不純。當氬氣中含有氧氣和水蒸氣時，激發點會退化。如果氬氣管道和焊鉗中有污染物無法排出，分析結果會變差。
（2）室內溫度的升高會增加光電倍增管的暗電流，降低信噪比。高濕度容易導致高壓元件泄漏放電，使icp光譜儀分析結果不穩定。
