雖然icp光譜儀本身測量精度很高，但在測定樣品中元素含量時，結果通常與實際含量不一致，存在一定誤差。而且，由于多種因素的影響，有些材料的含量很低。以下是對錯誤的類型和來源以及如何避免錯誤的分析。根據誤差的性質和原因，誤差可分為以下幾類：
1、系統錯誤的來源
（1）當標準樣品和樣品的含量和化學成分不*相同時，基質線和分析線的強度可能會發生變化，從而引入誤差。
（2）當標準樣品和樣品的物理性質不*相同時，激發特性線會不同，導致系統誤差。
（3）鑄鋼試樣的金屬組織與退火、淬火、回火、熱軋和鍛鋼試樣的金屬組織不同時，測得的數據也會不同。
（4）未知元素譜線的重疊干擾。例如，在冶煉過程中加入脫氧劑和脫磷劑時，會混入未知合金元素，造成系統誤差。
（5）為消除系統誤差，必須嚴格遵守標準樣品制備的要求。為了檢查系統誤差，需要使用化學分析方法來分析校準結果。
2、偶然錯誤的來源
與樣品成分不均勻有關的誤差。由于icp光譜儀光電光譜分析消耗的樣品很少，樣品中元素分布不均勻、結構不均勻導致不同部位的分析結果不同，從而產生意外誤差。主要原因如下：
（1）冶煉過程中帶入的夾雜物和偏析導致樣品中元素分布不均。
（2）缺陷、氣孔、裂縫、砂孔等。
（3）交叉研磨圖案、研磨樣品過熱、樣品研磨面放置時間過長、指紋等因素。
（4）為減少偶然誤差，需要仔細取樣以消除樣品的不均勻性和樣品的鑄造缺陷，或需要重復分析以減少分析誤差。
3、其他因素的誤差
（1）氬氣不純。當氬氣中含有氧氣和水蒸氣時，激發點會變差。如果氬氣管道和電極夾中有污染物不能排放，icp光譜儀分析結果就會很差。
（2）室內溫度的升高會增加光電倍增管的暗電流，降低信噪比。高濕度容易導致高壓元件泄漏和放電，使分析結果不穩定。
