原子熒光光譜儀又稱為原子熒光光度計，是上世紀60年代中期提出并迅速發展起來的新型光譜技術。原子熒光光譜法(AFS)是原子光譜法中的一個重要分支，是介于原子發射(AES)和原子吸收(AAS)之間的光譜分析技術。原子蒸氣吸收特定波長的光輻射的能量而被激發，受激原子在去激發過程中發射出一定波長的光輻射稱為原子熒光，利用原子在輻射激發下發射的熒光強度來定量分析的方法,即為原子熒光光譜分析法。
原子熒光光譜法的優點：
（1）有較低的檢出限，靈敏度高。特別對Cd、Zn等元素有相當低的檢出限，Cd可達0．001ng/cm、Zn為0.04ng/cm現已有2O多種元素低于原子吸收光譜法的檢出限。由于原子熒光的輻射強度與激發光源成比例，采用新的高強度光源可進一步降低其檢出限。
（2）干擾較少，譜線比較簡單，采用一些裝置，可以制成非色散原子熒光分析儀。這種儀器結構簡單，價格便宜。
（3）分析校準曲線線性范圍寬，可達3～5個數量級。
（4）由于原子熒光是向空間各個方向發射的，比較容易制作多道儀器，因而能實現多元素同時測定。
原子熒光光譜儀的結構：
1、激發光源
可用連續光源或銳線光源。常用的連續光源是氙弧燈，常用的銳線光源是高強度空心陰極燈、無極放電燈、激光等。連續光源穩定，操作簡便，壽命長，能用于多元素同時分析，但檢出限較差。銳線光源輻射強度高，穩定，可得到更好的檢出限。
2、原子化器：
原子熒光分析儀對原子化器的要求與原子吸收光譜儀基本相同。但所用的火焰與AAS的不同，主是因為在通常的AAS火焰中，熒光猝滅嚴重，必須用Ar稀釋的火焰。當用氫化物發生法時，直接使用Ar氣氛下的石英加熱方法進行原子化。
原子化效率高
低的輻射背景和背景閃爍
原子熒光猝滅效應低
被測元素的原子在光路中有較長的停留時間
原子化效率穩定，記憶效應小，操作簡單
使用成本低
3、光學系統：
光學系統的作用是充分利用激發光源的能量和接收有用的熒光信號，減少和除去雜散光。色散系統對分辨能力要求不高，但要求有較大的集光本領，常用的色散元件是光柵。非色散型儀器的濾光器用來分離分析線和鄰近譜線，降低背景。非色散型儀器的優點是照明立體角大，光譜通帶寬，集光本領大，熒光信號強度大，儀器結構簡單，操作方便。缺點是散射光的影響大。
4、檢測器：
常用的是光電倍增管，在多元素原子熒光分析儀中，也用光導攝象管、析象管做檢測器。檢測器與激發光束成直 角配置，以避免激發光源對檢測原子熒光信號的影響。
